“阿斯麦押注 193nm浸没式光刻并同步布局 157nm技术。”
“尼康深耕 157nm干式光刻,对浸没式技术持观望态度。”
“佳能则在评估浸没式技术的同时,仍聚焦于现有高数值孔径干式光刻的优化。”
陆燃在说出自己的一些建议之前,肯定是要让胡越这边把行业情况好好的介绍一下。
这样子有助于他更加清晰的了解光刻机行业的现状,最终再以合适的方式给出自己的建议。
“按照你这么说,现在光刻技术领域正处于路线抉择的十字路口咯?”
陆燃没有一上来就充当专家。
相比胡越,他在光刻机领域的专业水平,肯定是不如人家的。
陆燃最擅长的是锂电池。
“是的,193nm干式光刻已难以满足 65nm以下制程的分辨率需求,行业内围绕‘如何突破光学极限’形成了两条核心思路。”
“一是继续缩短光源波长至 157nm,二是通过改变曝光介质实现等效波长缩短的浸没式方案。”
“阿斯麦在 2002年台积电工程师林本坚提出的 193nm ArF浸没式光刻方案中看到了巨大潜力,并迅速展开深度合作。”
“该方案的核心原理是在光刻机物镜与晶圆之间注入高折射率的去离子水,替代传统的空气介质。”
“使 193nm的入射光等效波长缩短至 134nm,大幅提升分辨率的同时,可兼容现有 193nm光刻的部分掩模与光刻胶技术。”
“有媒体报道阿斯麦已经推出了首台浸没式光刻样机,率先攻克了该技术路线的初期核心难题。”
“从我们了解的情况来看,阿斯麦技术攻关重点集中在三个关键领域。”
“一是解决水流控制与气泡干扰问题,微小气泡会导致曝光图形畸变。”
“阿斯麦通过研发超声波气泡驱散系统和高精度流量控制系统,将晶圆表面水膜厚度稳定控制在 0.1 - 1mm区间,有效规避折射率波动带来的光学误差。”
“二是优化光学元件的防水防腐性能,水介质会对传统光学涂层造成侵蚀,阿斯麦联合光学元件供应商开发了新型防水涂层材料,确保镜头在长期浸泡环境下的光学精度稳定性。”
“三是提升系统闭环控制能力,通过搭建多传感器网络,实时监测水温、水速与光路偏差,将焦点漂移误差控制在纳米级别。”
“这些技术突破使该方案的数值孔径从干式光刻的 1.0极限提升至 1.44,为后续 65nm及以下制程量产奠定了基础。”
专业人士掌握的信息量,自然不是陆燃这个外行能够比得上的。
对于胡越汇报的内容,陆燃听得还是很认真的。
“与此同时,为应对浸没式技术研发可能出现的延迟风险,阿斯麦并未完全放弃当时行业主流关注的 157nm F2干式光刻技术。”
“就在上周,阿斯麦向欧洲微电子研究中心交付了业界首台全视场 157nm步进扫描光刻机 Micrascan VII。”
“该设备可用于 65nm以下制程的研发,是如今世界上首个能制造实用芯片的 157nm光刻工具。”
“针对 157nm技术的核心痛点,阿斯麦也形成了独特解决方案。”
“不过这个技术最大的难题是光学材料的适配性,157nm波长的光难以穿透传统光学玻璃,必须采用氟化钙晶体制作镜头。”
“而氟化钙晶体生长周期长达四个月,且仅有 10%-20%的成品符合光刻精度要求。”
“阿斯麦通过直接介入供应商的晶体生长过程,建立了专属的质量管控体系,保障了氟化钙镜头的稳定供应。”
“不过,阿斯麦始终将 157nm技术定位为过渡方案,其资源投入远低于浸没式光刻。”
“它们的这一布局既降低了技术迭代风险,又为后续技术整合预留了空间。”
听胡越介绍到这里,陆燃立马插了一嘴,说道:“我觉得阿斯麦的选择没有错,浸没式技术绝对会是将来的发展方向。”
“因为芯片技术对制程要求越来越高,现在还是一百多纳米,以后就会是几十纳米,甚至是几纳米。”
“这种情况下,传统的干式光刻机技术是完全无法达成要求的,只有浸没式技术才有可能达成。”
陆燃知道最终的结果是浸没式技术成为了主流。
珠江设备这边肯定也要朝着这个方向努力。
“但是行业内光刻机市场份额最大的尼康,看法跟阿斯麦却是不同。”
“它的干式光刻技术在全球市场占有率超 50%,凭借在 193nm干式光刻领域的成熟积累,尼康选择继续深耕 157nm F2干式光刻技术。”
“尼康将其视为 65nm及以下制程的核心解决方案,对 193nm浸没式技术保持谨慎观望态度。”
行业老大的选择,对其他人的影响肯定是巨大的。
如今光刻机行业的老大是尼康,还不是阿斯麦呢。
难怪胡越会纠结。
“东瀛的许多产业,往往都是在全球处于领先地位,引领行业发展的案例并不是那么的多。”
“在科技创新方面,尼康其实是比不上阿斯麦的。”
陆燃这个说法虽然有点牵强,但也没有办法说有错。
“托自身在精密光学领域的深厚积淀,尼康在 157nm镜头制造、掩模对准精度等方面形成了一定技术优势。”
“它推出的 157nm原型机在静态分辨率测试中表现优异,能够满足早期 65nm制程的图形转移需求。”
“尼康判断,该技术可通过后续的工艺优化,进一步支撑 45nm制程研发。”
“因此持续加大对 157nm技术的研发投入,甚至将大部分核心研发团队集中在该路线上。”
“尼康认为 193nm浸没式光刻存在诸多难以攻克的产业化难题,如水流对晶圆表面的污染风险、设备结构复杂度增加导致的故障率上升等。”
胡越进一步的解释了一下。
不过陆燃立马就给出了反驳意见。
“尼康作为干式光刻设备的主导者,其客户群体中众多晶圆厂已大规模部署尼康的 193nm干式设备。”
“若转向浸没式技术,将导致客户的设备与工艺投资面临贬值风险。”
“我觉得这才是尼康真正抵触新技术的重要原因。”
知道结果之后再给一些理由,就要容易很多了。
不管怎么说,最终都是对的。
“这个说法也有道理,阿斯麦已推出浸没式样机并开展客户验证了,但是尼康仍未启动实质性的浸没式技术研发,仅停留在理论评估阶段。”
“如果将来技术方向真的跟阿斯麦的选择一致的话,那么尼康的这种战略拖延一定会让它错失了浸没式技术研发的黄金窗口期。”
技术选择这种事情,胡越脑中还没有明确的思路。
既然陆燃态度那么坚定,那他自然没有必要去硬怼。
“是的,全球主流晶圆厂的产线多采用尼康的干式光刻设备,尼康凭借稳定的设备性能与完善的售后体系,与客户建立了紧密的合作关系。”
“这种市场优势使其产生路径依赖,认为客户不会轻易切换技术路线,因此缺乏推动技术变革的紧迫感。”
“现在尼康的研发重心仍放在优化 157nm设备的产能与良率上,而非探索颠覆性技术。”
“将来它们一定会在技术迭代浪潮中逐渐掉队。”
“我们公司应该把眼光放在阿斯麦身上,全力跟上行业发展步伐。”
这是一个需要比较长时间努力才能达成的目标。
陆燃现在也只是给胡越确定一个方向。
“嗯,相比尼康的选择,佳能就很有意思了。”
“如今佳能在光刻机市场中处于第三梯队,其技术实力与市场份额均落后于阿斯麦与尼康。”
“面对技术路线抉择,佳能采取了相对保守的多元化评估策略,既对 193nm浸没式技术进行可行性研究,又持续优化 193nm高数值孔径干式光刻技术,同时悄然布局纳米压印等替代技术。”
“形成了主流技术评估+既有技术优化+未来技术储备”的独特格局。”
虽然已经确定了光刻机的研发方向,胡越还是继续给陆燃介绍了一下佳能的情况。
毕竟哪怕是作为第三梯队的佳能,实力也不是珠江设备可以小觑的。
“我们之前的研发积累跟未来的发展方向是不大一样的。”
“考虑到后续的技术方向需要调整,干湿光刻机的一些产品可以适当的减少研发投入。”
既要又要还要,那是不可能的事情。
陆燃肯定要做一些选择。
对此,胡越倒是松了一口气。
知道努力方向,就一切好说。
第267章 低调的上市,销量却是一点都不低调
眼看着陆燃这段时间都在珠江电池和珠江设备那边忙碌,赵大锤有点坐不住了。
“陆总,我们的F3车型原计划上个月上市销售,现在已经推迟了一个月了。”
“第一批一万台的F3都已经下线,要是再不上市,就得考虑找停车场放车了。”
从去年羊城车展正式亮相开始,F3在互联网上的热度就很高。
虽然这段时间因为其他的事情抢占了不少热度,但是F3仍然属于汽车行业最受瞩目的一款新车型。
这要是一直不上市,会影响今年的销量。
“那就直接在珠江汽车的官网上面发布一下F3的售价,然后让各个4S店那边开始销售吧。”
这个时候,肯定是不适合在羊城搞什么上市活动。
如果在外地举办的话,一大堆人员移动,那就更加不方便了。
所以陆燃觉得干脆就低调上市吧。
反正只要产品足够有竞争力,F3的销量还是可以爬上去的。
“这……”
“就这么草率上市了吗?”
赵大锤很是纠结的反问了一嘴。
没办法,到现在为止,华夏汽车行业就没有出现过这种事情。
这可是全新车型,还是在车展上引起了巨大哄动的车型。
“情况特别,那就特别处理。”
“大不了就在互联网上多做一些宣传就是了。”
陆燃的态度很是坚定。
现在不适合举办大型活动,珠江汽车绝对不能在这个时候犯错。
“行吧,如果只是在网上发布一下的话,那后天都可以完成。”
“好些准备工作,之前就已经完成。”
“我等下就让物流部那边开始正式的往各个4S店那边发车。”
赵大锤太了解陆燃了。
听到那说话的语气,就知道这个事情没有商量的余地。